1、真空系统为散泵机组:即为扩散泵+旋片真空泵;由高真空扩散泵挡板、旋片真空泵🙍🏿、电磁真空带充动档板阀(出前级管路充气阀、连接管路🐡、密封圈、复合真空计及配电柜等组成的抽气系统

2🙅🏼‍♂️、本机组不适宜抽除对金属有腐蚀作用和对泵油起化学反应的气体🧔🏽‍♀️。它可作为真空冶炼👨🏻‍🦽、真空烧结🧏🏼‍♂️、真空热处理、真空镀膜、真空钎焊、太空模拟实验装置等高科技设备的髙真空获得装置。工作环境温度540℃,相对湿度不大于85%,冷却水温度25℃+5℃

3💎、真空度与真空泵的抽气能力❗️、舱室的密封性以及舱室內部材料(炉体內壁、实验器件、热沉等)的放气量有关,本机组的极限压力为1×10-3pa,使用压力为1×10-2pa,抽气时间约

4🤶🏻、扩散泵不能单独形成抽气,需由前级泵将系统压力降低至扩散泵要求启动的压力之内,一般为≤10pa

5、在扩散泵的进气口装有新型的水冷档板,可有效的防止扩散泵中的油蒸汽返流入真空室内,避免对实验仪器的污染

6、为了防止前级泵中的真空油在停泵时返流入扩散泵泵腔内,需在前级真空的进气口配电磁阀,在停泵时自动将系统管路隔离

7、阀门采用气动动方式,操作方便。

8💀、在开始抽气时,此系统中设置有预抽管路,被抽气体不经过扩散泵而由前级泵直接抽岀,这样做可避免被抽窖器中气体对扩散泵的污染(水分、挥发物、杂质),待被抽容器压力降低至a时,关闭预抽阀、开启挡板阀,扩散泵开始对被抽答器开始正常抽气。